Quelles sont les techniques de détection spectrale courantes et leurs applications?
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1. Spectroscopie infrarouge de transformée de Fourier (FTIR) :Utilisé pour détecter la composition chimique et la structure moléculaire du matériau de la puce, en analysant le spectre d'absorption de la lumière infrarouge, en identifiant des groupes fonctionnels spécifiques et en jugeant le type et la pureté du matériau
2. Spectroscopie Raman :Une technique de test non destructive pour obtenir des informations sur les vibrations moléculaires d'un matériau en analysant le changement d'énergie après la diffusion des photons, adapté au contrôle de la qualité des matériaux semi-conducteurs
3. Spectroscopie ultraviolette-visible (UV-vis) :Évaluation des propriétés d'absorption de la lumière de la surface de la puce, détection des contaminants, épaisseur d'oxyde et autres propriétés de surface
4. Spectroscopie de fluorescence :Détecte certains éléments ou composés sur la puce et identifie les traces d'impuretés par les longueurs d'onde spécifiques de la lumière émises après excitation
5. Spectroscopie près de l'infrarouge (NIR) :mesure la concentration et la composition d'un matériau et est souvent utilisée pour détecter les produits chimiques avec des pics d'absorption spécifiques dans la région infrarouge proche
